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1988年,英特尔公司推出了一款256kbit闪存芯片。
它如同鞋盒一样大小,并被内嵌于一个录音机里。
后来,英特尔发明的这类闪存被统称为nor闪存。它结合epro(可擦除可编程只读存储器)和eepro(电可擦除可编程只读存储器)两项技术,并拥有一个sra接口。
epro是指其中的内容可以通过特殊手段擦去,然后重新写入。
其基本单元电路(存储细胞),常采用浮空栅雪崩注入式os电路,简称为faos。
它与os电路相似,是在n型基片上生长出两个高浓度的p型区,通过欧姆接触分别引出源极s和漏极d。
在源极和漏极之间有一个多晶硅栅极浮空在sio2绝缘层中,与四周无直接电气联接。
这种电路以浮空栅极是否带电来表示存1或者0,浮空栅极带电后(譬如负电荷),就在其下面,源极和漏极之间感应出正的导电沟道,使os管导通,即表示存入0。
若浮空栅极不带电,则不形成导电沟道,os管不导通,即存入1。
eepro基本存储单元电路的工作原理与epro相似,它是在epro基本单元电路的浮空栅的上面再生成一个浮空栅,前者称为第一级浮空栅,后者称为第二级浮空栅。
可给第二级浮空栅引出一个电极,使第二级浮空栅极接某一电压vg。
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